본 연구에서는 펄스 레이저 증착법으로 기판온도에 따른 GZO (Ga2O3:5wt%, ZnO:95wt%) 박막을 유리 기판에 증착하여 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. XRD 측정을 통해 기판온도에 무관하게 모든 GZO 박막이 c 축으로 우선 성장함을 확인할 수 있었고, 300℃ 에서 증착한 GZO 박막이 반가폭 0.38° 로 가장 우수한 결정성을 나타내었다. 기판온도가 150에서 300℃ 로 증가함에 따라 GZO 박막의 비저항은 감소하는 경향을 보인 반면에 가시광 영역에서의 평균 투과도는 크게 영향을 받지 않는 것으로 조사되었다. 300℃ 에서 증착한 GZO 박막의 재료평가지수가 2.05×104Ω-1·cm-1 로 가장 우수한 값을 나타내었고, 이때 비저항과 가시광 영역에서의 평균 투과도는 각각 3.72×10-4Ω·cm 과 87.71% 이었다. 본 연구를 통해 GZO 박막이 매우 유망한 투명전도막 재료라는 것을 알 수 있었다.