PET (Polyethylene terephthalate) 플라스틱 기판 위에 IZTO (In-Zn-Sn-O) 박막을 증착하기 전에, SiO2 버퍼층을 전자빔 증착 방법으로 100nm 의 두께로 증착하였다. IZTO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 RF 파워는 30~60W 로, 공정 압력은 1~7mTorr 로 변화시켜가며 SiO2/PET 에 증착하여 IZTO 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. RF 파워 50W 와 공정 압력 3mTorr 에서 증착한 IZTO 박막이 4.53×10-3/Ω 의 제일 큰 재료평가지수와 이때 4.42×10-4Ω-cm 의 비저항과 27.63Ω/sq. 의 면저항으로 가장 우수한 전기적 특성을 보였고, 가시광 영역 (400∼800nm) 에서의 평균 투과도도 81.24% 로 가장 큰 값을 나타내었다. AFM 으로 IZTO 박막의 표면 형상을 관찰한 결과, 모든 IZTO 박막이 핀홀이나 크랙 같은 결함이 없는 표면을 가지며, RF 파워 50W 와 공정 압력 3mTorr 에서 증착한 박막이 1.147nm 의 가장 작은 표면 거칠기를 나타내었다. 이로부터 SiO2/PET 구조위에 증착한 IZTO 박막이 차세대 플렉시블 디스플레이 소자에 응용될 수 있는 매우 유망한 재료임을 알 수 있었다.