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2023
화학기상증착법을 이용하여 합성한 그래핀과 금속의 접촉저항 특성 연구
한국마이크로전자및패키징학회
이상현 외 2명
논문정보
- Publisher
- 마이크로전자 및 패키징학회지
- Issue Date
- 2023-06-30
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 30
- Number
- 2
- Start Page
- 60
- End Page
- 64
- ISSN
- 12269360
Abstract
본 연구에서는 그래핀 기반 소자의 성능에 영향을 미치는 그래핀과 금속 사이의 전기적 접촉저항 특성을 비교분석하였다. 화학기상증착법을 이용하여 고품질의 그래핀을 합성하였으며, 전극 물질로 Al, Cu, Ni 및 Ti를 동일한 두께로그래핀 표면 위에 증착하였다. TLM (transfer length method) 방법을 통해 SiO2/Si 기판에 전사된 그래핀과 금속의 접촉저항을 측정한 결과, Al, Cu, Ni, Ti의 평균 접촉저항은 각각 345 Ω, 553 Ω, 110 Ω, 174 Ω으로 측정되었다. 그래핀과 물리적흡착 특성을 갖는 Al와 Cu에 비해 화학적 결합을 형성하는 Ni과 Ti의 경우, 상대적으로 더 낮은 접촉저항을 갖는 것을 확인하였다. 본 연구의 그래핀과 금속의 전기적 특성에 대한 연구 결과는 전극과의 낮은 접촉저항 형성을 통해 고성능 그래핀 기반 전자, 광전자소자 및 센서 등의 구현에 기여할 수 있을 것으로 기대한다.
- 전남대학교
- KCI
- 마이크로전자 및 패키징학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이상현 | 화학공학부 |