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2006
Si 기판 위에 Ba0.5Sr0.5TiO3 산화물 에피 박막의 집적화 및 박막의 유전 특성에 관한 연구
Integration of Ba0.5Sr0.5TiO3 Epitaxial Thin Films on Si Substrates and their Dielectric Properties
한국세라믹학회
김진혁
논문정보
- Publisher
- 한국세라믹학회지
- Issue Date
- 2006-04-21
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 43
- Number
- 6
- Start Page
- 362
- End Page
- 368
- DOI
- ISSN
- 12297801
- 전남대학교
- KCI
- 한국세라믹학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 김진혁 | 신소재공학부 |