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2013
InAs/GaSb 제2형 응력 초격자 nBn 장적외선검출소자 설계, 제작 및 특성평가 nBn Based InAs/GaSb Type II Superlattice Detectors with an N-type Barrier Doping for the Long Wave Infrared Detection
한국진공학회
김하술 외 1명
논문정보
Publisher
Applied Science and Convergence Technology
Issue Date
2013-11-01
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
22
Number
6
Start Page
327
End Page
334
DOI
ISSN
22886559
Abstract
InAs/GaSb 제2형 응력 초격자(strained layer type II superlattice, T2SL)을 이용한 nBn 구조 장적외선 검출소자의 설계 및제작을 하였다. InAs와 GaSb 두께에 따른 T2SL 구조의 장적외선 밴드갭 에너지를 Kronig-Penney 모델을 이용하여 계산하였다. 소자의 암전류 밀도를 줄이기 위해서, nBn 구조에서 장벽층인 Al0.2Ga0.8Sb 성장 중에 Te 보상도핑(compansated doping)을 하였다. 온도(T) 80 K 및 인가전압(Vb) ?1.5 V에서, 반응스펙트럼 측정을 통한 소자의 차단파장은 ∼10.2 μm (∼0.122 eV)로 나타났다. 또한 온도 변화에 따른 암전류 측정으로부터 도출된 활성화 에너지는 0.128 eV로 계산 되었다. T=80 K 및 Vb=?1.5 V에서 암전류는 1.0×10-2 A/cm2으로 측정 되었다. 흑체복사 적외선 광원을 이용한 반응도(Responsivity)는 소자 온도 80 K 및 인가전압 ?1.5 V의 조건에서 0.58 A/W로 측정되었다.

저자 정보

이름 소속
김하술 물리학과