식스 시그마 기법은 생산라인의 품질관리, 경영관리뿐만 아니라 연구개발에도 유용하게 적용할 수 있다. 본 논문에서는 식스 시그마 방법론을 활용하여 휴대형 광정보저장장치용 초소형 광픽업의 구현에 필수적인 마이크로미러의 설계 및 개발에 대하여 연구한 결과를 기술한다. 식스 시그마 방법론으로서는 일반적으로 사용되는 DMAIC 프로세스를 적용하였다. 마이크로미러는 <110> 결정 방향으로 9.7° 경사지게 절단된 Si(100) 기판을 KOH 용액을 사용한 습식 이방성 식각으로 45° 미러면을 제작하고, 광학수차 감소를 위하여 정밀 유리 마스터 몰드를 사용한 자외선 경화형 폴리머 엠보싱을 추가하여 표면 거칠기를 감소시켰다. 폴리머 층을 추가한 마이크로미러의 표면 거칠기는 습식 식각만 적용한 Si 마이크로미러에 대비하여 약 1/8로 감소하여 초소형 광픽업용 미러의 규격을 만족시켰다.