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2020
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
Optical and Surface Characteristics of TiO2 Thin Films Deposited by using RF Magnetron Sputtering
한국물리학회
이봉주, 윤연섭, 이명복
논문정보
- Publisher
- 새물리
- Issue Date
- 2020-07-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 70
- Number
- 7
- Start Page
- 556
- End Page
- 562
- ISSN
- 0374-4914
Abstract
RF 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 이산화티타늄(TiO2) 박막을 유리 기판 위에 증착하고, 스퍼터링공정 조건에 따른 박막의 광학적 특성 및 표면 특성의 변화에 대하여 조사하였다. 박막 증착 시 분위기가스 중의 산소 분압의 변화에 따라 박막의 결정 구조, 표면 형상, 광학 스펙트럼 및 친수성의 변화를평가하였다. 박막의 결정구조는 비정질 상으로 성장하였고 산소 분압의 증가에 따라 박막의 표면 거칠기는감소하였다. 아르곤 가스에 산소를 혼합함에 따라 가시광의 파장 범위에서 광투과율이 증가하고 반사율은감소하였다. 박막 표면의 물방울과의 접촉각 측정 결과, 산소 분압의 증가에 따라 박막 표면의 친수성은감소하였으며 이는 박막의 표면 거칠기의 변화에 기인하는 것으로 추정된다.
- 광주대학교
- KCI
- 새물리
저자 정보
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