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2016
SrRuO3 전극 박막 위에 증착된 PZT 박막의 구조 및 강유전 특성
Structural and Ferroelectric Properties of PZT Thin Films Deposited on SrRuO3 Electrode Films
한국전기전자재료학회
이명복
논문정보
- Publisher
- 전기전자재료학회논문지
- Issue Date
- 2016-10-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 29
- Number
- 10
- Start Page
- 620
- End Page
- 624
- ISSN
- 1226-7945
Abstract
도전성 SrRuO3 박막을 하지층으로 사용하여 펄스 레이저 증착법에 의하여 강유전체 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT) 박막을 SrTiO3(100) 기판 위에 성장시켜 결정구조와 강유전 특성에 대하여 연구하였다. PZT 박막은 격자정합성이 잘 맞는 의입방정의 SrRuO3 박막 위에 (00l) 방향으로 성장하였다. PZT 박막의 강유전성 및 전기적 특성의 두께 의존성에 대하여 조사하였다. 두께 400 nm의 PZT 박막은 29.0 µC/cm2의 잔류분극(Pr) 및 83 kV/cm의 항전계(Ec) 를 보였으며, PZT 박막의 두께 감소에 따라 Pr은 감소하였고 Ec는 증가하는 경향을 보였다. 유전율도 PZT 박막의 두께 감소에 따라 점차적으로 감소하였다. PZT 박막의 절연파괴 전계는 박막의 두께와 무관하게 약 1 MV/cm로 거의 유사한 값을 나타내었다.
- 광주대학교
- KCI
- 전기전자재료학회논문지
저자 정보
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