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2005
가열용융 방법에 의한 Ge-BPSG 마이크로렌즈 어레이 제작 Ge-doped Boro-phospho-silicate Glass Micro-lens Array Produced by Thermal Reflow
한국광학회
논문정보
Publisher
한국광학회지
Issue Date
2005-08-01
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
16
Number
4
Start Page
340
End Page
344
DOI
ISSN
12256285
Abstract
화염가수분해 증착법(FHD : Flame Hydrolysis Deposition)으로 제작된 Ge이 첨가된 BPSG(Boro-Phospho-Silicate-Glass)막의 표면을 절단톱(dicing saw)을 이용하여 일정한 깊이로 절단함으로써 각 단위 마이크로렌즈 셀들을 형성시켰다. 또한 절단된 각 단위 마이크로렌즈 셀들을 가열용융(thermal reflow) 방법을 이용하여 1200℃에서 가열용융시킴으로써 직경이 53.4 ㎛인 마이크로렌즈 어레이를 제작할 수 있었다. 이 때 렌즈간 간격은 70 ㎛, 렌즈 두께는 약 28.4 ㎛이었다. 제작된 마이크로렌즈 어레이의 형상을 이미지-프로세스로 분석하였으며, 초점거리는 62.2 ㎛이었다. 본 제작방법은 일반적인 사진식각 공정을 이용한 마이크로렌즈 제작보다 간단하면서도 저렴한 비용으로 제작이 가능하다. 또한 곡률반경의 조절이 용이하고, 보다 정밀하며 다양한 마이크로렌즈 어레이를 구현할 수 있다.

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