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2004
PE-ALD 를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성
Characteristics of Tin Oxide Thin Films Deposited by PE-ALD
한국재료학회
이운영 외 1명
논문정보
- Publisher
- 한국재료학회지
- Issue Date
- 2004-12-20
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 14
- Number
- 12
- Start Page
- 840
- End Page
- 845
- DOI
- ISSN
- 12250562
- 전남대학교
- KCI
- 한국재료학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이운영 | 화학과 |