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2003
PECVD로 제조된 비정질 질화탄소 박막의 물성에 미치는 열처리 효과
Effects of thermal annealing on the properties of amorphous carbon nitride films deposited by PECVD
한국재료학회
논문정보
- Publisher
- 한국재료학회지
- Issue Date
- 2003-05-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 13
- Number
- 5
- Start Page
- 303
- End Page
- 308
- DOI
- ISSN
- 12250562
- 전남대학교
- KCI
- 한국재료학회지
저자 정보
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