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2001
Study of sol-gel prepared phosphosilicate glass-ceramic For Low Temperature Phosphorus Diffusion into Silicon Study of sol-gel prepared phosphosilicate glass-ceramic For Low Temperature Phosphorus Diffusion into Silicon
한국전기전자재료학회
논문정보
Publisher
전기전자재료학회논문지
Issue Date
2001-06-01
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
2
Number
2
Start Page
32
End Page
43
DOI
ISSN
12267945
  • 전남대학교
  • KCI
  • 전기전자재료학회논문지

저자 정보

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