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2000
SF6/Cl2 혼합비에 따른 실리콘 식각 특성 고찰
A study on the silicon etching characteristics in ECR using SF6/Cl2 gas mixture
한국전기전자재료학회
논문정보
- Publisher
- 전기전자재료학회지
- Issue Date
- 2000-02-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 13
- Number
- 2
- Start Page
- 114
- End Page
- 119
- DOI
- ISSN
- 12267937
- 전남대학교
- KCI
- 전기전자재료학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 | ||
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