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1999
마그네트론 스퍼터링 증착 조건에 따른 SnO2 박막의 미세구조와 가스검지특성 변화 마그네트론 스퍼터링 증착 조건에 따른 SnO2 박막의 미세구조와 가스검지특성 변화
한국재료학회
논문정보
Publisher
한국재료학회지
Issue Date
1999-11-01
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
Number
Start Page
1083
End Page
1091
DOI
ISSN

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